楚微半導(dǎo)體
2024-08-06
技術(shù)方案:
PCDA線需要高品質(zhì)壓縮空氣:壓力露點-70℃,出口含塵量 ISO 8573-1 1級標(biāo)準(zhǔn),含油0.01mg/m3以下。
后處理配置方案:冷卻器+粗效過濾器+鼓風(fēng)熱零氣耗干燥機(jī)+粗校過濾器+精密過濾器。冷卻器應(yīng)用11℃冷凍水與壓縮空氣換熱,將壓縮空氣溫度降低至25℃以下,在經(jīng)過粗效過濾器進(jìn)入鼓風(fēng)熱干燥機(jī),將空氣水分去除,以達(dá)到-70℃的壓力露點。后經(jīng)一級粗效一級精密過濾器后,達(dá)到含塵1級標(biāo)準(zhǔn),含油0.01mg/m3。
效果:
壓力露點穩(wěn)定運行于-70℃以下(最低至-95℃),含油量穩(wěn)定運行與0.001mg/m3,含塵量滿足ISO 8673-1 1級標(biāo)準(zhǔn)。
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